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电子探针谱仪

电子探针谱仪

分为能谱仪和波谱仪

原理：利用聚焦电子束（电子探测针）照射试样表面待测的微小区域，从而激发试样中元素产生不同波长（或能量）的特征X射线。用X射线谱仪探测这些X射线，得到X射线谱。根据特征X射线的波长（或能量）进行元素定性分析；根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。

适合分析材料:金属及合金，高分子材料、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或**固体材料分析

应用领域：地质，冶金，石油，化工，矿产，农业等领域

注意事项：样品要有良好的导电、导热性，表面平整度等

特点：波谱仪分析的元素范围广、探测极限小、分辨率高，适用于精准的定量分析。 能谱仪分析速度快，可用较小的束流和微细的电子束，对试样表面要求不如波谱仪那样严格，不锈钢钝化剂配方，因此特别适合于与扫描电子显微镜配合使用。

工艺改进

　   主要是对生产部门所采用的现有工艺提供各种技术支持。包括消除薄弱环节（辨明限制生产能力的工序并改进其工艺操作和设备），降低运转费用(例如：通过优化反应条件而提高产率，采用较廉价的原料，改变操作方法等)，改进产品质量，金属钝化剂配方，改善操作条件，消除环境污染，采用更恰当的材质加工设备，改进检测、计量和控制手段等。它们多半属于局部性的技术革新，钝化剂，通常可由工厂本身的研究开发部门承担。

工艺开发

　   又称过程开发，既包括创造现有产品的新生产工艺，也包括开发适用于新产品的生产工艺。

产品开发

　    为了满足国民经济各部门的要求，提高产品的某些使用功能，促进产品的更新换代。产品开发针对用户的需要，并密切注意国民经济各部门的技术发展动向，及时提供新材料和新的化学品。

应用开发

　   为现有产品寻找新的用途，以扩大市场，增加产量，降低成本，并延长某些产品的寿命周期，使能持续赢利。

X射线光电子能谱（XPS）

原理：激发源为X射线，无铬钝化剂配方，用X射线作用于样品表面，产生光电子。通过分析光电子的能量分布得到光电子能谱研究样品表面组成和结构。

适合分析材料:金属、高分子等材料，薄膜，涂层等

应用领域：半导体技术、冶金、催化、矿物加工和晶体生长等

特点：

⑴可测除H、He以外的所有元素。检测灵敏度约为0.1 at%。

⑵亚单层灵敏度；探测深度1～10nm，依赖材料和实验参数。

⑶可元素定量分析。

⑷优异的化学信息，huaxue-位移和卫wei-星结构与完整的标准化合物数据库的联合使用。

⑸分析是非结构破坏的；X射线束损伤通常微不足道。

⑹详细的电子结构和某些几何信息。